分析系
EDS搭載走査電子顕微鏡（SEM-EDS）
| メーカー | 日本電子(株) |
|---|---|
| 型番 | JSM-6510 |
| 仕様 | https://www.jeol.co.jp/products/detail/JSM-6510series.html |
| 用途 | 材料分析 |
| 設置場所 | デバイス分析室 |
X線CT解析装置（X-CT）
| メーカー | 松定プレシジョン(株) |
|---|---|
| 型番 | μRay5500-LCTNFRT80 |
| 仕様 |
管電圧：30～80kV 管電流：30～150μA ステージ：CTステージ, 回転傾動ステージ, XYステージ 分解能：3.5μm/pixel（CTステージ） 解析ソフト：μRayVision（画像解析）３次元画像復元, スライス解析, 体積計算等 VG studio（画像処理） |
| 用途 |
デバイスの非破壊検査、最大３ｋｇまでのサンプル（大型ステージ） X線透過像の撮影、X線CT像の撮影 |
| 設置場所 | デバイス評価室 |
原子間力顕微鏡（AFM）
| メーカー | (株)島津製作所 |
|---|---|
| 型番 | SPM-8100FM |
| 仕様 | https://www.an.shimadzu.co.jp/products/surface-analysis/high-resolution-scanning-probe-microscope/spm-8100fm/index.html |
| 用途 | 液晶配向界面の観測、鉛畜電池の負極電極表面での電気化学反応観測 |
| 設置場所 | クリーンルーム |
X線回折装置（XRD）
| メーカー | (株)リガク |
|---|---|
| 型番 | MiniFlex600 |
| 仕様 |
最大定格出力：600W 定格電圧：20～40kV（1kV刻み） 定格電流：2～15mA（1mA刻み) X線管：Cu-Kα スキャンモード：θ-2θ法 2θ測定範囲：-3～145deg 最小ステップ角度：0.005deg |
| 用途 | 物質の結晶構造解析、データベース、粉体解析、応力解析 |
| 設置場所 | デバイス評価室 |
共焦点レーザースキャン顕微鏡（CLSM）
| メーカー | カールツァイス |
|---|---|
| 型番 | LSM 5 PASCAL |
| 仕様 |
顕微鏡：倒立型Axiovert200M 観察法：蛍光、透過明視野、透過部分干渉、透過位相差（一部） 蛍光フィルター(目視観察用)：Fset15wf、Fset38wf、Fset49wf 蛍光フィルター(CH1)：LP475、LP505、LP530、LP560、LP650 蛍光フィルター(CH2)：BP475-525、505-530、505-600、530-600、560-615 対物レンズ：Plan-NeoFluor10×、20×、40×oil 対物レンズ：Plan-Apochromart60×oilDIC、100×oilDIC 搭載レーザー：Ar458、488、514nm、HeNe543nm 検出器：蛍光用2個、透過用1個 操作、解析処理システム：LSM5 |
| 用途 | |
| 設置場所 | デバイス評価室 |
フーリエ変換赤外分光光度計（FT-IR）
| メーカー | 日本分光(株) |
|---|---|
| 型番 | FT/IR-410 |
| 仕様 |
フーリエ変換型、透過、反射、ATR、RASモード、偏光板 分解能：1,2,4,8,16cm-1 測定波数範囲：7800～400cm-1 光源：セラミック特殊光源 検出器：DLATGS |
| 用途 | 膜内の分子構造解析、表面官能基の同定 |
| 設置場所 | デバイス評価室 |
フーリエ変換赤外分光光度計(FT-IR)
| メーカー | 島津製作所 |
|---|---|
| 型番 | IR-Affinity 1S |
| 仕様 |
フーリエ変換型、透過モード 分解能：0.5～16cm-1 測定波数範囲：7800～350cm-1 |
| 用途 | 有機薄膜内の分子振動解析、官能基の同定、異物評価 |
| 設置場所 | デバイス作製室 |
紫外可視分光光度計（UV-Vis）
| メーカー | 日本分光(株) |
|---|---|
| 型番 | UV-550 |
| 仕様 |
透過、反射、積分球モード、拡散反射測定、膜厚および屈折率解析、液体セル搭載、吸収係数計測 分解能：0.1nm 測定波長範囲：190～900nm 光源：重水素放電管（190～350nm）, タングステンよう素ランプ（330～900nm） 検出器：光電子倍増管 |
| 用途 | 反射率及び透過率の測定、薄膜の膜厚測定、屈折率の測定 |
| 設置場所 | デバイス評価室 |
マニピュレータ
| メーカー | 駿河精機(株) |
|---|---|
| 型番 | UGO293 |
| 仕様 |
[マニピュレータ] ストローク：前後15mm，左右15mm 分解能：0.1μm/パルス アームホルダー：0～90°の回転可能 [XYステージ] ストローク：前後100mm，左右75mm 分解能：0.1μm/パルス |
| 用途 | 1μｍ分解度での高精度オペレーション |
| 設置場所 | デバイス解析室 |
表面張力計，接触角計
| メーカー |
【表面張力計】協和界面科学(株) 【接触角計】協和界面科学(株) |
|---|---|
| 型番 |
【表面張力計】CBVP-A3 【接触角計】CA-DT, DM-100 |
| 仕様 |
【表面張力計】ウィルヘルム法、Ｐｔ基板使用 【接触角計】 測定方式：工学鏡による直読方式(θ/2法) 測定範囲：0°～180° 表示分解性：0.5° 視野範囲：7.0(W)×3.5(H)mm以内 目盛：1目盛 約0.083mm（3.000mm/約36目盛） |
| 用途 |
【表面張力計】液体の表面張力測定 【接触角計】試料表面の汚染度、親水・疎水性の測定、試料の表面自由エネルギーの測定、転落角の測定 |
| 設置場所 | デバイス解析室 |
アッベ屈折計
| メーカー | (株)アタゴ |
|---|---|
| 型番 | DR-M4 |
| 仕様 | https://www.atago.net/japanese/new/products-dr-m-top.php |
| 用途 | 屈折率測定＠480，546，589，656 nm |
| 設置場所 | デバイス解析室 |
ハイブリッドシステム
| メーカー | MICRONIX |
|---|---|
| 型番 | MHS550 |
| 仕様 |
[周波数カウンタ部] 測定周波数：1Hz～10MHz, 10MHz～250MHz ゲート時間：0.01s, 0.1s, 1s, 10s [ファンクションジェネレータ部] 出力周波数：0.2Hz～2MHz 出力波形 : 正弦波, 方形波, 三角波及びその対称性を変えた波形 [デジタルマルチメータ部] 表示：4 1/2桁(19999カウント), アナログバーグラフ, LCD表示 測定モード：DC電圧, AC電圧, DC電流, AC電流, 抵抗, 静電容量, ロジック測定 [直流電源部] 出力電圧：0～30V 出力電流：0～2A |
| 用途 | デバイス特性解析用 |
| 設置場所 | デバイス解析室 |
デジタルマルチメータ（2台）
| メーカー | KENWOOD |
|---|---|
| 型番 | DL-712 |
| 仕様 | |
| 用途 | |
| 設置場所 | デバイス解析室 |
インピーダンスアナライザ
| メーカー | 岩崎通信機(株) |
|---|---|
| 型番 | PSM3750-2C-IAI2 |
| 仕様 | https://www.iti.iwatsu.co.jp/ja/products/ppa/psm3750/psm3750_spec.html |
| 用途 | デバイスの比誘電率・導電率他の測定 |
| 設置場所 | クリーンルーム |
剥離試験機
| メーカー | (株)イマダ |
|---|---|
| 型番 | EMX-1000N |
| 仕様 | https://www.koeishoji.co.jp/emx.html |
| 用途 | フレキシブルディスプレイのシーリング基板剥離試験など |
| 設置場所 | デバイス作製室 |
分光蛍光光度計
| メーカー | (株)日立ハイテクサイエンス |
|---|---|
| 型番 | F-2700 |
| 仕様 | https://www.hitachi-hightech.com/hhs/product_detail/%3Fpn%3Dana-f2700 |
| 用途 | 材料の分析 |
| 設置場所 | デバイス作製室 |
ソーラーシミュレータ
| メーカー | 朝日分光(株) |
|---|---|
| 型番 | HAL-320 |
| 仕様 | https://www.asahi-spectra.co.jp/r_kiki/hal-320.asp |
| 用途 | 太陽電池の特性解析の光源 |
| 設置場所 | デバイス作製室 |
ロックインアンプ
| メーカー | (株)エヌエフ回路設計ブロック |
|---|---|
| 型番 | LI5660 |
| 仕様 | https://www.nfcorp.co.jp/pro/mi/lb/lockin/li5600/ |
| 用途 | ロックイン検出法測定 |
| 設置場所 | デバイス分析室 |
試料作製系
高精細3Dプリンタ
| メーカー | (株)キーエンス |
|---|---|
| 型番 | AGILISTA-3110 |
| 仕様 | https://www.keyence.co.jp/products/3d-printers/3d-printers/agilista-3100/models/agilista-3110/ |
| 用途 | |
| 設置場所 | デバイス分析室 |
酸素プラズマクリーナー
| メーカー | Femto Science (国内代理店:新興精機（株）） |
|---|---|
| 型番 | CUTE-MP/TD |
| 仕様 |
プラズマガス種：O2 （Ar, N2,CF4等にも対応） プラズマ出力：10-100W プラズマ周波数：20-100kHz チャンバー寸法：140mm×200mm×110mm (W×D×H) |
| 用途 | 各種基板の表面洗浄, 濡れ性の改善 |
| 設置場所 | クリーンルーム |
小型電子線描画装置
| メーカー | サンユー電子(株) |
|---|---|
| 型番 | ACE-7000EBL |
| 仕様 |
200nmライン描画（実力的に100nm以下のパターン形成可能） 描画エリア： 加速電圧：20kV(5/10/15/20kV可変) 電子ビーム径： CAD描画ソフト、SEM機能、寸法計測システム |
| 用途 | ナノパターン形成、デバイス回路形成、機能性デザイン、レジスト局所硬化処理 |
| 設置場所 | クリーンルーム |
マイクロ光造形実験機
| メーカー | (株)アズマ工機 |
|---|---|
| 型番 | URM-HP301 |
| 仕様 | He-Cdレーザー光源、光硬化型造形、CAD設計システム |
| 用途 |
３次元のマイクロ構造の一括形成、薄膜型リソグラフィでは困難な形状形成用 立体球、チューブ、ホールなどの機能性デバイスの構成要素の形成用 メッキ、リフトオフなどによる３次元金属配線形成用のパターン 光導波路、回折格子などの光学素子形成用 |
| 設置場所 | クリーンルーム |
スポットUV照射装置
| メーカー | ウシオ電機(株) |
|---|---|
| 型番 | SP-9 |
| 仕様 | http://www.ushio.co.kr/documents/products/lamphouse/ushio_spot-cure_series.pdf |
| 用途 | 光重合反応 |
| 設置場所 | クリーンルーム |
電磁石
">
| メーカー | |
|---|---|
| 型番 | |
| 仕様 | 10KG |
| 用途 | 液晶配向の高プレティルト角測定 |
| 設置場所 | クリーンルーム |
マスクアライナー（露光装置）
| メーカー | ミカサ(株) |
|---|---|
| 型番 | M-1S |
| 仕様 | http://www.opticoat.co.jp/mask/#M-1S |
| 用途 | ITO電極パターンエッチング加工用 |
| 設置場所 | クリーンルーム |
配向膜塗布用装置系（スピンコータ，ホットプレート，電子天びん）
| メーカー |
【スピンコータ】(株)ナノテック 【ホットプレート】 【電子天びん】 |
|---|---|
| 型番 |
【スピンコータ】SC200 【ホットプレート】 【電子天びん】 |
| 仕様 |
【スピンコータ】https://nanotech-inc.co.jp/coater/sc200ローコストスピンナー/ 【ホットプレート】 【電子天びん】 |
| 用途 | 液晶セル作製 |
| 設置場所 | クリーンルーム |
卓上半自動研磨機
| メーカー | (株)マルトー |
|---|---|
| 型番 | ML-182 |
| 仕様 | http://www.maruto.com/products/2-1-2/index.html |
| 用途 | |
| 設置場所 | クリーンルーム |
洗浄装置系（ビーカー洗浄器，純水製造装置，ビーカー用定温乾燥器）
| メーカー |
【ビーカー洗浄器】(株)サンプラテック 【純水製造装置】 【ビーカー用定温乾燥器】(株)いすゞ製作所 |
|---|---|
| 型番 |
【ビーカー洗浄器】 【純水製造装置】 【ビーカー用定温乾燥器】MDN-19GA |
| 仕様 |
【ビーカー洗浄器】 【純水製造装置】純水作製 【ビーカー用定温乾燥器】保持温度300℃、温度表示、PID制御、ガス置換仕様、ステンレス仕様 |
| 用途 |
【ビーカー洗浄器】回転水流による実験治具の洗浄 【純水製造装置】 【ビーカー用定温乾燥器】ビーカー、シャーレ、治具等の乾燥用、温度特性の測定用チャンバー |
| 設置場所 | クリーンルーム |
卓上小型電気炉，定温乾燥炉，DCスパッタ装置，プラズマリアクター（アッシャー）
| メーカー |
【卓上小型電気炉】日陶科学(株) 【定温乾燥炉】ヤマト科学(株) 【DCスパッタ装置】サンユー電子(株) 【プラズマリアクター】ヤマト科学(株) |
|---|---|
| 型番 |
【卓上小型電気炉】NHK-170 【定温乾燥炉】DX302 【DCスパッタ装置】SC-706 【プラズマリアクター】PR301 |
| 仕様 |
【卓上小型電気炉】使用最高温度：1250℃、プログラム制御：2パターン 8ステップ、炉壁：セラミックファイバー、ヒーター：パイロマックス 【定温乾燥炉】https://www.yamato-net.co.jp/product/show/dx302/ 【DCスパッタ装置】Ar ガス、O2ガス、DCバイアス max 3kV、6インチ基板対応、DCエッチング 【プラズマリアクター】バレルチャンバー式、300W、O2プラズマ灰化式、ダイヤルマッチング方式、3インチ基板処理可能 |
| 用途 |
【卓上小型電気炉】トランジスタ用のＰドライブ、厚膜酸化層の形成 【定温乾燥炉】 【DCスパッタ装置】基板の物理エッチング、表面親水化処理、Mo膜の形成、貴金属膜の形成 【プラズマリアクター】レジスト膜などの有機膜の除去、表面有機残さの除去、表面親水化処理、有機膜の等方性ドライエッチング |
| 設置場所 | クリーンルーム |
メッキベーシック
| メーカー | (株)ハープ |
|---|---|
| 型番 | No.6300 |
| 仕様 |
槽容量：500cc×2 メッキ電流：50～500mA 脱脂電流：2.8A ヒーター：45℃ or 55℃ |
| 用途 | CuおよびAlなどの電解、無電解めっき膜の作製用 |
| 設置場所 | クリーンルーム |
臨界点乾燥装置
| メーカー | 日本電子(株) |
|---|---|
| 型番 | JCPD-5 |
| 仕様 | 液化炭酸ガス、メタノール置換型、サンプルサイズ20mm角可能 |
| 用途 | 液体処理による構造破壊を防ぐ用途に使用する。微細レジストパターンの現像処理、MEMSデバイスの乾燥処理、生体・植物試料の乾燥処理に用いる。 |
| 設置場所 | デバイス解析室 |
小型精密切断機
| メーカー | リファインテック(株) |
|---|---|
| 型番 | RCA-005 |
| 仕様 | http://refinetec.com/products/000107.html |
| 用途 | 単結晶基板の切断加工、任意の方向への加工可能、高速切断可能 |
| 設置場所 | デバイス解析室 |
精密手動スクライバー
| メーカー | ムサシノ電子(株) |
|---|---|
| 型番 | SC-100 |
| 仕様 | http://www.musashino-denshi.co.jp/scriber/sc100/ |
| 用途 | Ｓｉ単結晶基板の精密切断、最小１ｍｍ角切断可能 |
| 設置場所 | デバイス解析室 |
真空包装機
| メーカー | (株)シロ産業 |
|---|---|
| 型番 | M2397Z-3103WA |
| 仕様 | https://shop.webshiro.com/item/M2397Z-3103WA/ |
| 用途 | フレキシブルディスプレイのシーリング |
| 設置場所 | デバイス作製室 |
ディップコーター一式
| メーカー | (株)SDI |
|---|---|
| 型番 | MD-0408-S8 |
| 仕様 | https://www.sdicompany.com/dipcoater/md0408s8.php |
| 用途 | 有機材料の基板への塗工 |
| 設置場所 | クリーンルーム |
薄膜系
光・液晶系
ラビング装置
| メーカー |
常陽工学(株) （特注品） |
|---|---|
| 型番 | LQ-015 |
| 仕様 | 基板の大きさ：100mm×100mm |
| 用途 | 液晶配向処理 |
| 設置場所 | クリーンルーム |
スリットコータ実験系
| メーカー | 東レエンジニアリング(株) |
|---|---|
| 型番 | |
| 仕様 | 15mm×25mm |
| 用途 | 液晶配向処理 |
| 設置場所 | クリーンルーム |
フレクソ測定等エリプソメータ実験系
| メーカー | 自作 |
|---|---|
| 型番 | |
| 仕様 | 589nmの位相差測定、光弾性変調法 |
| 用途 | 液晶配向界面アンカリングエネルギー評価、フレクソエレクトリック係数評価 |
| 設置場所 | デバイス分析室 |
分光エリプソメータ―
| メーカー | 日本分光(株) |
|---|---|
| 型番 | M-150 |
| 仕様 |
測定方法：PEMデュアルロックイン方式、光サーボ/光リファレンス制御方式 分光器：ダブルモノクロ自動波長駆動装置 測定波長：He-Neレーザ（632.8nm）Xe光源（260～860nm） 入射角範囲：40°～90°連続自動設定（0.01°ステップ） 膜厚測定範囲：0～99999A 測定時間：1msec以上 測定精度：屈折率 ±0.01、膜厚 ±1A、消衰係数 ±0.01 試料室：試料垂直置き 検出系：光電子増倍管 |
| 用途 | 液晶セルの方位角アンカリングエネルギー測定。薄膜の膜厚測定。 |
| 設置場所 | デバイス評価室 |
偏光顕微鏡
| メーカー | Nikon |
|---|---|
| 型番 |
ECLIPSE LV100N POL OPTIPHOT2-POL |
| 仕様 |
https://www.microscope.healthcare.nikon.com/ja_JP/products/polarizing-microscopes/eclipse-lv100n-pol |
| 用途 | |
| 設置場所 | デバイス評価室 |
その他
プリント基板加工システム（NC旋盤）
| メーカー | ミッツ(株) |
|---|---|
| 型番 | FPZ-31AT model160 |
| 仕様 |
分解能：0.00635 スピンドル回転数：30000～40000rpm（基板加工）、5000rpm（アクリル板） 工具：ミリングカッタ、ドリル、フォーミングカッタ、10種類自動交換 付属CADソフト：Flash for Windows |
| 用途 | プリント基板の加工、デバイスマウント用の基板加工、燃料電池用ハウジング加工、アクリル板の加工、ＭＥＭＳ用ハウジング加工 |
| 設置場所 | デバイス解析室 |
工作機械（卓上フライス盤，卓上旋盤，卓上糸ノコ盤，卓上ボール盤，両頭グラインダー）
| メーカー |
【卓上フライス盤】(株)東洋アソシエイツ 【卓上旋盤】(株)東洋アソシエイツ 【卓上糸ノコ盤】リョービ(株) 【卓上ボール盤】アークランドサカモト(株) 【両頭グラインダー】リョービ(株) |
|---|---|
| 型番 |
【卓上フライス盤】LittleMilling9 【卓上旋盤】Compact9 【卓上糸ノコ盤】TF-535A 【卓上ボール盤】GTTB-13SP 【両頭グラインダー】TG-151 |
| 仕様 |
【卓上フライス盤】 https://www.toyoas.jp/products/category/milling/detail.html?p=51&pg=0 【卓上旋盤】 https://www.toyoas.jp/products/category/senban/detail.html?p=54&pg=0 【卓上糸ノコ盤】 切断能力：木材50mm, 軟鋼板3mm, 真鍮4mm ストローク数：950min-1(50Hz), 1100min-1(60Hz) 【卓上ボール盤】 電流：2.6/2.4A 回転数：1450/1720rpm 変速：5段階 定格時間：30min 【両頭グラインダー】 回転数：3000/3600min-1 砥石外径：150mm 厚さ：6.4mm/19mm 穴径：12.7mm |
| 用途 | |
| 設置場所 | デバイス解析室 |
電池式UVランプ
| メーカー | Thermo Fisher Scientific |
|---|---|
| 型番 | UV-5F |
| 仕様 |
波長：254nm ワット数：5W |
| 用途 | |
| 設置場所 | デバイス解析室 |
放射温度計
| メーカー | (株)堀場製作所 |
|---|---|
| 型番 | IT-545N-C |
| 仕様 | https://www.horiba.com/jp/process-environmental/products-jp/thermometry/details_handheld/it-545-series-high-accuracy-infrared-thermometers-handheld-models-398/ |
| 用途 | 測定対象物の表面温度を離れた場所から測定する |
| 設置場所 | デバイス解析室 |
メタルハライド光源装置
| メーカー | (株)住田光学ガラス |
|---|---|
| 型番 | LS-M210 |
| 仕様 | 色温度：6,020?8,500K |
| 用途 | サンプル照明 |
| 設置場所 | デバイス解析室 |
ガウスメーター
| メーカー | 横河電機(株) |
|---|---|
| 型番 | TYPE3251 |
| 仕様 | |
| 用途 | |
| 設置場所 | クリーンルーム |
酸素濃度計
| メーカー | 新コスモス電機 |
|---|---|
| 型番 | KS-7O |
| 仕様 |
https://www.new-cosmos.co.jp/industrial/product/1031/ |
| 用途 | 室内酸素濃度測定 |
| 設置場所 | 試料作製室 |
テスラメータ
| メーカー | 日本電磁測器 |
|---|---|
| 型番 | GV-400T |
| 仕様 |
https://www.j-ndk.co.jp/product/jikisokutei/tesla_meter.html |
| 用途 | 磁場測定 |
| 設置場所 | クリーンルーム |