長岡技術科学大学 木村研究室
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主要設備Equipment
目次

分析系

分析系

EDS搭載走査電子顕微鏡（SEM-EDS）

メーカー 日本電子(株)
型番 JSM-6510
仕様 https://www.jeol.co.jp/products/detail/JSM-6510series.html
用途 材料分析
設置場所 デバイス分析室

X線CT解析装置（X-CT）

メーカー 松定プレシジョン(株)
型番 μRay5500-LCTNFRT80
仕様 管電圧：30～80kV
管電流：30～150μA
ステージ：CTステージ, 回転傾動ステージ, XYステージ
分解能：3.5μm/pixel（CTステージ）
解析ソフト：μRayVision（画像解析）３次元画像復元, スライス解析, 体積計算等
      VG studio（画像処理）
用途 デバイスの非破壊検査、最大３ｋｇまでのサンプル（大型ステージ）
X線透過像の撮影、X線CT像の撮影
設置場所 デバイス評価室

原子間力顕微鏡（AFM）

メーカー (株)島津製作所
型番 SPM-8100FM
仕様 https://www.an.shimadzu.co.jp/products/surface-analysis/high-resolution-scanning-probe-microscope/spm-8100fm/index.html
用途 液晶配向界面の観測、鉛畜電池の負極電極表面での電気化学反応観測
設置場所 クリーンルーム

X線回折装置（XRD）

メーカー (株)リガク
型番 MiniFlex600
仕様 最大定格出力：600W
定格電圧：20～40kV（1kV刻み）
定格電流：2～15mA（1mA刻み)
X線管：Cu-Kα
スキャンモード：θ-2θ法
2θ測定範囲：-3～145deg
最小ステップ角度：0.005deg
用途 物質の結晶構造解析、データベース、粉体解析、応力解析
設置場所 デバイス評価室

共焦点レーザースキャン顕微鏡（CLSM）

メーカー カールツァイス
型番 LSM 5 PASCAL
仕様 顕微鏡：倒立型Axiovert200M
観察法：蛍光、透過明視野、透過部分干渉、透過位相差（一部）
蛍光フィルター(目視観察用)：Fset15wf、Fset38wf、Fset49wf
蛍光フィルター(CH1)：LP475、LP505、LP530、LP560、LP650
蛍光フィルター(CH2)：BP475-525、505-530、505-600、530-600、560-615
対物レンズ：Plan-NeoFluor10×、20×、40×oil
対物レンズ：Plan-Apochromart60×oilDIC、100×oilDIC
搭載レーザー：Ar458、488、514nm、HeNe543nm
検出器：蛍光用2個、透過用1個
操作、解析処理システム：LSM5
用途  
設置場所 デバイス評価室

フーリエ変換赤外分光光度計（FT-IR）

　　　
メーカー 日本分光(株)
型番 FT/IR-410
仕様 フーリエ変換型、透過、反射、ATR、RASモード、偏光板
分解能：1,2,4,8,16cm-1
測定波数範囲：7800～400cm-1
光源：セラミック特殊光源
検出器：DLATGS
用途 膜内の分子構造解析、表面官能基の同定
設置場所 デバイス評価室

フーリエ変換赤外分光光度計(FT-IR)

メーカー 島津製作所
型番 IR-Affinity 1S
仕様 フーリエ変換型、透過モード
分解能：0.5～16cm-1
測定波数範囲：7800～350cm-1
用途 有機薄膜内の分子振動解析、官能基の同定、異物評価
設置場所 デバイス作製室

紫外可視分光光度計（UV-Vis）

メーカー 日本分光(株)
型番 UV-550
仕様 透過、反射、積分球モード、拡散反射測定、膜厚および屈折率解析、液体セル搭載、吸収係数計測
分解能：0.1nm
測定波長範囲：190～900nm
光源：重水素放電管（190～350nm）, タングステンよう素ランプ（330～900nm）
検出器：光電子倍増管
用途 反射率及び透過率の測定、薄膜の膜厚測定、屈折率の測定
設置場所 デバイス評価室

マニピュレータ

メーカー 駿河精機(株)
型番 UGO293
仕様 [マニピュレータ]
　ストローク：前後15mm，左右15mm
　分解能：0.1μm/パルス
　アームホルダー：0～90°の回転可能
[XYステージ]
　ストローク：前後100mm，左右75mm
　分解能：0.1μm/パルス
用途 1μｍ分解度での高精度オペレーション
設置場所 デバイス解析室

表面張力計，接触角計

メーカー 【表面張力計】協和界面科学(株)
【接触角計】協和界面科学(株)
型番 【表面張力計】CBVP-A3
【接触角計】CA-DT, DM-100
仕様 【表面張力計】ウィルヘルム法、Ｐｔ基板使用
【接触角計】
測定方式：工学鏡による直読方式(θ/2法)　測定範囲：0°～180°　表示分解性：0.5°
視野範囲：7.0(W)×3.5(H)mm以内　目盛：1目盛 約0.083mm（3.000mm/約36目盛）
用途 【表面張力計】液体の表面張力測定
【接触角計】試料表面の汚染度、親水・疎水性の測定、試料の表面自由エネルギーの測定、転落角の測定
設置場所 デバイス解析室

アッベ屈折計

メーカー (株)アタゴ
型番 DR-M4
仕様 https://www.atago.net/japanese/new/products-dr-m-top.php
用途 屈折率測定＠480，546，589，656 nm
設置場所 デバイス解析室

ハイブリッドシステム

メーカー MICRONIX
型番 MHS550
仕様 [周波数カウンタ部]
測定周波数：1Hz～10MHz, 10MHz～250MHz
ゲート時間：0.01s, 0.1s, 1s, 10s
[ファンクションジェネレータ部]
出力周波数：0.2Hz～2MHz
出力波形 : 正弦波, 方形波, 三角波及びその対称性を変えた波形
[デジタルマルチメータ部]
表示：4 1/2桁(19999カウント), アナログバーグラフ, LCD表示
測定モード：DC電圧, AC電圧, DC電流, AC電流, 抵抗, 静電容量, ロジック測定
[直流電源部]
出力電圧：0～30V 出力電流：0～2A
用途 デバイス特性解析用
設置場所 デバイス解析室

デジタルマルチメータ（2台）

メーカー KENWOOD
型番 DL-712
仕様 　
用途 　
設置場所 デバイス解析室

オシロスコープ

メーカー ヤマト科学
型番 WaveAce1001
仕様 https://files.yamato-net.co.jp/support/catalog/p0737_wavesurfer3000.pdf"
用途 　
設置場所
　　　　　

オシロスコープ

メーカー テクトロニクス
型番 TDS460
仕様 　
用途 　
設置場所
　

オシロスコープ

メーカー テクトロニクス
型番 TDS2014C
仕様 　
用途 　
設置場所
　

オシロスコープ

メーカー HEWLETT PACKARD
型番 54645A
仕様 　
用途 　
設置場所
　

オシロスコープ

メーカー テクトロニクス
型番 2235
仕様 　
用途 　
設置場所

オシロスコープ

メーカー テクトロニクス
型番 TBS1000C
仕様 　
用途 　
設置場所

インピーダンスアナライザ

メーカー 岩崎通信機(株)
型番 PSM3750-2C-IAI2
仕様 https://www.iti.iwatsu.co.jp/ja/products/ppa/psm3750/psm3750_spec.html
用途 デバイスの比誘電率・導電率他の測定　
設置場所 クリーンルーム

剥離試験機

メーカー (株)イマダ
型番 EMX-1000N
仕様 https://www.koeishoji.co.jp/emx.html
用途 フレキシブルディスプレイのシーリング基板剥離試験など　
設置場所 デバイス作製室

分光蛍光光度計

メーカー (株)日立ハイテクサイエンス
型番 F-2700
仕様 https://www.hitachi-hightech.com/hhs/product_detail/%3Fpn%3Dana-f2700
用途 材料の分析　
設置場所 デバイス作製室

ソーラーシミュレータ

メーカー 朝日分光(株)
型番 HAL-320
仕様 https://www.asahi-spectra.co.jp/r_kiki/hal-320.asp
用途 太陽電池の特性解析の光源　
設置場所 デバイス作製室

ロックインアンプ

メーカー (株)エヌエフ回路設計ブロック
型番 LI5660
仕様 https://www.nfcorp.co.jp/pro/mi/lb/lockin/li5600/
用途 ロックイン検出法測定　
設置場所 デバイス分析室

試料作製系

高精細3Dプリンタ

メーカー (株)キーエンス
型番 AGILISTA-3110
仕様 https://www.keyence.co.jp/products/3d-printers/3d-printers/agilista-3100/models/agilista-3110/
用途 　
設置場所 デバイス分析室

酸素プラズマクリーナー

メーカー Femto Science (国内代理店:新興精機（株））
型番 CUTE-MP/TD
仕様 プラズマガス種：O2 （Ar, N2,CF4等にも対応）
プラズマ出力：10-100W
プラズマ周波数：20-100kHz
チャンバー寸法：140mm×200mm×110mm (W×D×H)
用途 各種基板の表面洗浄, 濡れ性の改善
設置場所 クリーンルーム

小型電子線描画装置

メーカー サンユー電子(株)
型番 ACE-7000EBL
仕様 200nmライン描画（実力的に100nm以下のパターン形成可能）
描画エリア：
加速電圧：20kV(5/10/15/20kV可変)
電子ビーム径：
CAD描画ソフト、SEM機能、寸法計測システム
用途 ナノパターン形成、デバイス回路形成、機能性デザイン、レジスト局所硬化処理
設置場所 クリーンルーム

マイクロ光造形実験機

メーカー (株)アズマ工機
型番 URM-HP301
仕様 He-Cdレーザー光源、光硬化型造形、CAD設計システム
用途 ３次元のマイクロ構造の一括形成、薄膜型リソグラフィでは困難な形状形成用
立体球、チューブ、ホールなどの機能性デバイスの構成要素の形成用
メッキ、リフトオフなどによる３次元金属配線形成用のパターン
光導波路、回折格子などの光学素子形成用
設置場所 クリーンルーム

スポットUV照射装置

メーカー ウシオ電機(株)
型番 SP-9
仕様 http://www.ushio.co.kr/documents/products/lamphouse/ushio_spot-cure_series.pdf
用途 光重合反応
設置場所 クリーンルーム

電磁石

メーカー
型番
仕様 10KG
用途 液晶配向の高プレティルト角測定
設置場所 クリーンルーム

マスクアライナー（露光装置）

メーカー ミカサ(株)
型番 M-1S
仕様 http://www.opticoat.co.jp/mask/#M-1S
用途 ITO電極パターンエッチング加工用　
設置場所 クリーンルーム

配向膜塗布用装置系（スピンコータ，ホットプレート，電子天びん）

メーカー 【スピンコータ】ミカサ株式会社
【ホットプレート】
【電子天びん】
型番 【スピンコータ】MS-B100
【ホットプレート】
【電子天びん】
仕様 【スピンコータ】http://www.opticoat.co.jp/spin//
【ホットプレート】
【電子天びん】
用途 液晶セル作製　
設置場所 クリーンルーム

卓上半自動研磨機

メーカー (株)マルトー
型番 ML-182
仕様 http://www.maruto.com/products/2-1-2/index.html
用途 　　
設置場所 クリーンルーム

洗浄装置系（ビーカー洗浄器，純水製造装置，ビーカー用定温乾燥器）

メーカー 【ビーカー洗浄器】(株)サンプラテック
【純水製造装置】
【ビーカー用定温乾燥器】(株)いすゞ製作所
型番 【ビーカー洗浄器】
【純水製造装置】
【ビーカー用定温乾燥器】MDN-19GA
仕様 【ビーカー洗浄器】
【純水製造装置】純水作製
【ビーカー用定温乾燥器】保持温度300℃、温度表示、PID制御、ガス置換仕様、ステンレス仕様
用途 【ビーカー洗浄器】回転水流による実験治具の洗浄
【純水製造装置】
【ビーカー用定温乾燥器】ビーカー、シャーレ、治具等の乾燥用、温度特性の測定用チャンバー　
設置場所 クリーンルーム

卓上小型電気炉，定温乾燥炉，DCスパッタ装置，プラズマリアクター（アッシャー）

メーカー 【卓上小型電気炉】日陶科学(株)
【定温乾燥炉】ヤマト科学(株)
【DCスパッタ装置】サンユー電子(株)
【プラズマリアクター】ヤマト科学(株)
型番 【卓上小型電気炉】NHK-170
【定温乾燥炉】DX302
【DCスパッタ装置】SC-706
【プラズマリアクター】PR301
仕様 【卓上小型電気炉】使用最高温度：1250℃、プログラム制御：2パターン 8ステップ、炉壁：セラミックファイバー、ヒーター：パイロマックス
【定温乾燥炉】https://www.yamato-net.co.jp/product/show/dx302/
【DCスパッタ装置】Ar ガス、O2ガス、DCバイアス max 3kV、6インチ基板対応、DCエッチング
【プラズマリアクター】バレルチャンバー式、300W、O2プラズマ灰化式、ダイヤルマッチング方式、3インチ基板処理可能
用途 【卓上小型電気炉】トランジスタ用のＰドライブ、厚膜酸化層の形成
【定温乾燥炉】
【DCスパッタ装置】基板の物理エッチング、表面親水化処理、Mo膜の形成、貴金属膜の形成
【プラズマリアクター】レジスト膜などの有機膜の除去、表面有機残さの除去、表面親水化処理、有機膜の等方性ドライエッチング
設置場所 クリーンルーム

メッキベーシック

メーカー (株)ハープ
型番 No.6300
仕様 槽容量：500cc×2
メッキ電流：50～500mA
脱脂電流：2.8A
ヒーター：45℃ or 55℃
用途 CuおよびAlなどの電解、無電解めっき膜の作製用
設置場所 クリーンルーム

臨界点乾燥装置

メーカー 日本電子(株)
型番 JCPD-5
仕様 液化炭酸ガス、メタノール置換型、サンプルサイズ20mm角可能
用途 液体処理による構造破壊を防ぐ用途に使用する。微細レジストパターンの現像処理、MEMSデバイスの乾燥処理、生体・植物試料の乾燥処理に用いる。
設置場所 デバイス解析室

小型精密切断機

メーカー リファインテック(株)
型番 RCA-005
仕様 http://refinetec.com/products/000107.html
用途 単結晶基板の切断加工、任意の方向への加工可能、高速切断可能
設置場所 デバイス解析室

精密手動スクライバー

メーカー ムサシノ電子(株)
型番 SC-100
仕様 http://www.musashino-denshi.co.jp/scriber/sc100/
用途 Ｓｉ単結晶基板の精密切断、最小１ｍｍ角切断可能
設置場所 デバイス解析室

真空包装機

メーカー (株)シロ産業
型番 M2397Z-3103WA
仕様 https://shop.webshiro.com/item/M2397Z-3103WA/
用途 フレキシブルディスプレイのシーリング
設置場所 デバイス作製室

ディップコーター一式

メーカー (株)SDI
型番 MD-0408-S8
仕様 https://www.sdicompany.com/dipcoater/md0408s8.php
用途 有機材料の基板への塗工
設置場所 クリーンルーム

薄膜系

光・液晶系

ラビング装置

メーカー 常陽工学(株)
（特注品）
型番 LQ-015
仕様 基板の大きさ：100mm×100mm
用途 液晶配向処理
設置場所 クリーンルーム

スリットコータ実験系

メーカー 東レエンジニアリング(株)
型番 　
仕様 15mm×25mm
用途 液晶配向処理
設置場所 クリーンルーム

フレクソ測定等エリプソメータ実験系

メーカー 自作
型番 　
仕様 589nmの位相差測定、光弾性変調法
用途 液晶配向界面アンカリングエネルギー評価、フレクソエレクトリック係数評価
設置場所 デバイス分析室

分光エリプソメータ―

メーカー 日本分光(株)
型番 M-150
仕様 測定方法：PEMデュアルロックイン方式、光サーボ/光リファレンス制御方式
分光器：ダブルモノクロ自動波長駆動装置
測定波長：He-Neレーザ（632.8nm）Xe光源（260～860nm）
入射角範囲：40°～90°連続自動設定（0.01°ステップ）
膜厚測定範囲：0～99999A
測定時間：1msec以上
測定精度：屈折率 ±0.01、膜厚 ±1A、消衰係数 ±0.01
試料室：試料垂直置き
検出系：光電子増倍管
用途 液晶セルの方位角アンカリングエネルギー測定。薄膜の膜厚測定。
設置場所 デバイス評価室

偏光顕微鏡

メーカー Nikon
型番 ECLIPSE LV100N POL
OPTIPHOT2-POL
仕様 https://www.microscope.healthcare.nikon.com/ja_JP/products/polarizing-microscopes/eclipse-lv100n-pol
用途 　
設置場所 デバイス評価室

その他

プリント基板加工システム（NC旋盤）

メーカー ミッツ(株)
型番 FPZ-31AT model160
仕様 分解能：0.00635
スピンドル回転数：30000～40000rpm（基板加工）、5000rpm（アクリル板）
工具：ミリングカッタ、ドリル、フォーミングカッタ、10種類自動交換
付属CADソフト：Flash for Windows
用途 プリント基板の加工、デバイスマウント用の基板加工、燃料電池用ハウジング加工、アクリル板の加工、ＭＥＭＳ用ハウジング加工
設置場所 デバイス解析室

工作機械（卓上フライス盤，卓上旋盤，卓上糸ノコ盤，卓上ボール盤，両頭グラインダー）

メーカー 【卓上フライス盤】(株)東洋アソシエイツ
【卓上旋盤】(株)東洋アソシエイツ
【卓上糸ノコ盤】リョービ(株)
【卓上ボール盤】アークランドサカモト(株)
【両頭グラインダー】リョービ(株)
型番 【卓上フライス盤】LittleMilling9
【卓上旋盤】Compact9
【卓上糸ノコ盤】TF-535A
【卓上ボール盤】GTTB-13SP
【両頭グラインダー】TG-151
仕様 【卓上フライス盤】
https://www.toyoas.jp/products/category/milling/detail.html?p=51&pg=0
【卓上旋盤】
https://www.toyoas.jp/products/category/senban/detail.html?p=54&pg=0
【卓上糸ノコ盤】
切断能力：木材50mm, 軟鋼板3mm, 真鍮4mm
ストローク数：950min-1(50Hz), 1100min-1(60Hz)
【卓上ボール盤】
電流：2.6/2.4A　回転数：1450/1720rpm　変速：5段階　定格時間：30min
【両頭グラインダー】
回転数：3000/3600min-1　砥石外径：150mm　厚さ：6.4mm/19mm　穴径：12.7mm
用途 　
設置場所 デバイス解析室

電池式UVランプ

メーカー Thermo Fisher Scientific
型番 UV-5F
仕様 波長：254nm
ワット数：5W
用途 　
設置場所 デバイス解析室

放射温度計

メーカー (株)堀場製作所
型番 IT-545N-C
仕様 https://www.horiba.com/jp/process-environmental/products-jp/thermometry/details_handheld/it-545-series-high-accuracy-infrared-thermometers-handheld-models-398/
用途 測定対象物の表面温度を離れた場所から測定する
設置場所 デバイス解析室

メタルハライド光源装置

メーカー (株)住田光学ガラス
型番 LS-M210
仕様 色温度：6,020?8,500K
用途 サンプル照明
設置場所 デバイス解析室

ガウスメーター

メーカー 横河電機(株)
型番 TYPE3251
仕様 　
用途 　
設置場所 クリーンルーム

酸素濃度計

メーカー 新コスモス電機
型番 KS-7O
仕様 https://www.new-cosmos.co.jp/industrial/product/1031/
用途 　室内酸素濃度測定
設置場所 試料作製室

テスラメータ

メーカー 日本電磁測器
型番 GV-400T
仕様 https://www.j-ndk.co.jp/product/jikisokutei/tesla_meter.html
用途 　磁場測定
設置場所 クリーンルーム